Betharia Sonata menikah dengan aktor laga Willy Dozan tahun 1990.
Dari pernikahannya ini Betharia dikarunia dua orang anak, Leon dan Nabila Dozan.
Setelah bercerai dengan Betharia, Willy Dozan sudah beberapa kali menikah lagi.
Pada 2010, Willy menikah dengan Rumiyati Ningsih dan dikaruniai dua anak.